Développement de microvalve bi-matériaux polymères PDMS/PMMA par deux techniques de réplication
| Autor: | Pascal Blindx, Gaël Thuillier, Chantal Khan Malek, Roland Duffaitx |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre de Transfert des Micro et Nanotechnologies (CTMN), CTMN |
| Rok vydání: | 2006 |
| Předmět: |
[SPI.OTHER]Engineering Sciences [physics]/Other
Materials science 010504 meteorology & atmospheric sciences 0207 environmental engineering 02 engineering and technology PMMA 01 natural sciences micro-moulage PDMS microvalve Polymer chemistry coulage microfluidique [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics 020701 environmental engineering matriçage à chaud 0105 earth and related environmental sciences Water Science and Technology |
| Zdroj: | La Houille Blanche-Revue internationale de l'eau La Houille Blanche-Revue internationale de l'eau, EDP Sciences, 2006, N4, pp.40-44 |
| ISSN: | 1958-5551 0018-6368 |
| DOI: | 10.1051/lhb:200604005 |
| Popis: | Proc. 2nd Microfluidics French Conference - Microfluidics 2004 (µFlu'04), December 14-16, 2004 - Toulouse, France; La microvalve bi-matériaux polymères développée comporte un étage fluidique avec canaux et membrane en polydiméthylsiloxane (PDMS) et une interface pneumatique en polyméthylméthacrylate (PMMA). Sa construction a été réalisée par des techniques courantes : deux méthodes différentes de réplication bas coût, une méthode de transfert de membrane, et deux techniques d'assemblage. Le coulage de PDMS s'effectue sur une empreinte définie par photolithographie de résine épaisse alors que l'interface pneumatique en PMMA est obtenue par double hot-embossing à partir d'une matrice en silicium usiné chimiquement. Le collage localisé PDMS-PDMS s'effectue par traitement plasma oxygène après masquage sélectif des zones à joindre et l'interfaçage PDMS-PMMA par enduction de PDMS liquide en utilisant un promoteur d'adhérence commercial. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|