An improved mobility model for FDSOI TriGate and other multi-gate Nanowire MOSFETs down to nanometer-scaled dimensions
| Autor: | J. Pelloux-Prayer, Mikael Casse, Zaiping Zeng, S. Barraud, G. Reimbold, François Triozon, Yann-Michel Niquet |
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| Přispěvatelé: | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratory of Atomistic Simulation (LSIM ), Modélisation et Exploration des Matériaux (MEM), Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Deutsch, Thierry |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: |
010302 applied physics
Electron mobility Mobility model Materials science business.industry Nanowire 02 engineering and technology Experimental validation 021001 nanoscience & nanotechnology 01 natural sciences [PHYS.COND.CM-MS] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci] PMOS logic 0103 physical sciences [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci] Optoelectronics Nanometre 0210 nano-technology business NMOS logic ComputingMilieux_MISCELLANEOUS Interpolation |
| Zdroj: | 2017 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S) 2017 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S), Oct 2017, Burlingame, France. pp.1-3 |
| Popis: | We hereby present the experimental validation of a semi-analytical model for the size-dependent carrier mobility in FDSOI TriGate Nanowire transistors. The model is based on simple interpolation between a square narrow Si NW and wide FDSOI or vertical Double Gate (DG) limiting cases. We demonstrate its suitability to NMOS and PMOS devices with various H and W dimensions, as well as for different channel orientations. This model brings significant improvement to the simpler facets model, and evidences the contribution of corner areas. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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