Effect of Strain on the Epitaxy of B-Doped Si0.5Ge0.5 Source/Drain Layers
Autor: | Richard J. H. Morris, Clement Porret, Mustafa Ayyad, Geoffrey Pourtois, Erik Rosseel, Andriy Hikavyy, Roger Loo, André Vantomme, Gianluca Rengo |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | ECS Meeting Abstracts. :934-934 |
ISSN: | 2151-2043 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |