| Popis: |
В роботі наведено результати електронно-променевої мікрообробки оптичних поверхонь елементної бази інформаційних систем, що доводять покращення їх якісних характеристик (зменшення мікрошорсткості та мікронапруження у поверхневому шарі матеріалу, структурної та хімічної стабілізації у дефектному і тріщиноподібному шарах, керована зміна адгезійними властивостями поверхні матеріалу тощо). Розглянуто структурні та хімічні перетворення, які виникають на поверхні та у приповерхневому шарі оптичного матеріалу внаслідок такої мікрообробки. Встановлено технологічні режими електронно-променевої мікрообробки оптичного скла, при яких відбувається якісне покращення поверхонь оптичних елементів, що приводить до підвищення експлуатаційних показників та показників надійності цих елементів. Показано перспективу використання методу електронно-променевої мікрообробки оптичних елементів при виготовленні, удосконаленні та оновленні елементної бази сучасних інформаційних систем. The article presents the results of electron-beam microprocessing of optical surfaces of the element base of information systems, proving the improvement of their quality characteristics (reducing the microroughness and microstress in the surface layer of the material, structural and chemical stabilization in defective and fractured layers, controlled change in adhesive properties of the material surface, etc.). An electron beam unit is used as the main technological equipment, which has been made on the basis of the vacuum spraying unit (VSU-71). As a source of tape electron flow, Pierce's electron beam gun, which provides the formation of such a stream of 60 mm length, 1.5-4.0 mm width and has a specific power of 10¹ W/сm²≤Rpit≤105 W/сm², has been used. Structural and chemical transformations that occur on the surface and in the near-surface layer of optical material due to such microprocessing are considered. Technological modes of electronbeam microprocessing of optical glass at which there is a qualitative improvement of surfaces of optical elements is established, which leads to increased performance and reliability of these elements. The result of wetting the optical surface of untreated and electronically treated glass through the mask is presented, which indicates a significant change in the surface energy of the plate and improve its adhesive properties. As a result of research it has been found that the use of electron beam microprocessing reduces the residual microroughness of the surface optical elements 2.6-2.9 times and improves the structural and chemical homogeneity of the surface layer of optical elements. It has been also found that in addition to reducing the microrelief of the surface of optical samples treated with electronic tape there is an improvement in chemical homogeneity and a decrease in thermomechanical stresses in the surface layer of glass. This occurs during gradual exposure to a given temperature and subsequent cooling of the optical glass after electron beam microprocessing. The prospect of using the method of electron-beam microprocessing of optical elements in the manufacture, improvement and updating of the element base of modern information systems is shown. |
