(Invited) Hybrid Bonding-Based Interconnects: A Status on the Last Robustness and Reliability Achievements

Autor: Lucile Arnaud, Stephane Moreau, Joris Jourdon, Bassel Ayoub, Sandrine Lhostis, David Bouchu, Hélène Fremont
Přispěvatelé: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (UB)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2021
Předmět:
Zdroj: ECS Meeting Abstracts
ECS Meeting Abstracts, 2021, MA2021-02 (14), pp.662-662. ⟨10.1149/MA2021-0214662mtgabs⟩
ISSN: 1091-8213
2151-2043
DOI: 10.1149/MA2021-0214662mtgabs⟩
Popis: International audience
Databáze: OpenAIRE