(Invited) Hybrid Bonding-Based Interconnects: A Status on the Last Robustness and Reliability Achievements
Autor: | Lucile Arnaud, Stephane Moreau, Joris Jourdon, Bassel Ayoub, Sandrine Lhostis, David Bouchu, Hélène Fremont |
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Přispěvatelé: | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (UB)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | ECS Meeting Abstracts ECS Meeting Abstracts, 2021, MA2021-02 (14), pp.662-662. ⟨10.1149/MA2021-0214662mtgabs⟩ |
ISSN: | 1091-8213 2151-2043 |
DOI: | 10.1149/MA2021-0214662mtgabs⟩ |
Popis: | International audience |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |