IMPROVEMENTS OF ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) DEVICES AND TYPES
| Autor: | Alper Uğur, Nuran Ay |
|---|---|
| Rok vydání: | 2018 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Volume: 6, Issue: 4 590-605 Mühendislik Bilimleri ve Tasarım Dergisi |
| ISSN: | 1308-6693 |
| DOI: | 10.21923/jesd.392032 |
| Popis: | Malzemelerinyüzey özelliklerinin değiştirilmesi ile elde edilen ürünlere kendiözelliklerinin yanında farklı işlevsellikler kazandırılabilmektedir. Yüzeyteknolojilerindeki gelişmeler yeni ürünlerin eldesini ve üretim süreçleriningelişmesini de sağlamaktadır. ALD yöntemi çok farklı uygulama alanlarındabaşarı ile uygulanma potansiyeline sahiptir. Global ALD endüstrisi marketaraştırmaları 2017-2025 yılları arasında yıllık %12’lik büyüme öngörmektedir. Bumakalede ince film biriktirme tekniklerinden biri olan atomik katman biriktirme(ALD) yönteminde kullanılan cihazların tarihsel gelişimi ve gelişen ALDçeşitleri incelenmiştir. Çalışma genel ALD çeşitlerinin yanında doğrudanyazmalı (Direct write) ve rulodan ruloya (Roll to roll) gibi yeni ALD çeşitlerihakkında bilgi vermektedir. The products obtained by changing the surfaceproperties of the materials can be given different functionalities besidestheir own properties. Developments in surface technologies also provide thedevelopment of obtain new products and manufacturing processes. The ALD methodhas the potential to be successfully applied in many different applicationareas. The global market research on the atomic layer deposition industryestimated to annual growth of 12% from 2017 to 2025. In this paper thehistorical developments of devices and types used in the application of ALDmethod which is a types of thin film coating technique were investigated. Itgives information about new ALD types like direct write and roll to roll ALD aswell as general ALD approaches. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|