Liquid-Crystal alignment by a nanoimprinted grating for wafer-scale fabrication of tunable devices

Autor: Jean-Baptiste Doucet, Laurent Dupont, Christophe Levallois, B. Sadani, Emmanuelle Daran, Véronique Bardinal, Cyril Paranthoen, Sophie Bouchoule, B. Boisnard, X. Lafosse, Thierry Camps
Přispěvatelé: Équipe MICrosystèmes d'Analyse (LAAS-MICA), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Marcoussis] (C2N), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON (Institut FOTON), Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (ENSSAT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), IMT Atlantique (IMT Atlantique), Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), Département Optique (IMT Atlantique - OPT), Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), ANR-15-CE19-0012 DOCT VCSEL, Agence Nationale de la Recherche, ANR-14-ASTR-0007,HYPOCAMP,Lasers à cavités verticales accordables hybrides , contrôlées en polarisation et entièrement monolithiques pour la conception systèmes optiques et micro-ondes embarqués et compacts.(2014), ANR-15-CE19-0012,DOCT-VCSEL,Tomographie par Cohérence Optique portable à source accordable MEMS-VCSEL pour l'analyse de la peau(2015), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (ENSSAT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (IMT Atlantique), IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (IMT Atlantique), École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (ENSSAT)-IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (IMT Atlantique), Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2018
Předmět:
dry thick resist
Materials science
Fabrication
02 engineering and technology
Grating
nanoimprint
film
01 natural sciences
VCSEL
Vertical-cavity surface-emitting laser
law.invention
[SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials
010309 optics
020210 optoelectronics & photonics
grating
law
0103 physical sciences
soft transfer
0202 electrical engineering
electronic engineering
information engineering
Wafer
liquid crystal devices
Electrical and Electronic Engineering
tunable optical filter
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
business.industry
Laser
Atomic and Molecular Physics
and Optics
Electronic
Optical and Magnetic Materials
SU-8
[SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics
Resist
Optical cavity
[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic
Optoelectronics
wafer-scale fabrication
Photonics
business
Zdroj: IEEE Photonics Technology Letters
IEEE Photonics Technology Letters, 2018, 30 (15), pp.1388-1391. ⟨10.1109/LPT.2018.2849641⟩
IEEE Photonics Technology Letters, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2018, 30 (15), pp.1388-1391. ⟨10.1109/LPT.2018.2849641⟩
ISSN: 1041-1135
Popis: A simple technology is demonstrated for the wafer-scale fabrication of liquid-crystal (LC) microcells that can be integrated in active optoelectronic devices. Fabrication of 1.55- $\mu \text{m}$ tunable Fabry–Perot optical micro-filter arrays is achieved owing to the insertion of a single nanoimprinted polymer grating dedicated to LC alignment and to the soft thermal transfer of a dry thick resist film between two highly reflective mirrors. The filter exhibits a spectral tuning range of 102 nm with only 18 V applied, as well as negligible internal loss, which makes it suitable for being inserted in a laser cavity. This constitutes a key step toward the large-scale integration of widely tunable photonic devices such as vertical-cavity surface-emitting lasers using LC technology.
Databáze: OpenAIRE
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