Optical Feedback Interferometry for Raster Scan Profilometry
| Autor: | Francis Bony, Bastien Grimaldi, Antonio Luna Arriaga, Clément Tronche, Julien Perchoux |
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| Přispěvatelé: | Équipe Optoélectronique pour les Systèmes Embarqués (LAAS-OSE), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: |
Materials science
business.industry Scattering Phase (waves) 02 engineering and technology 021001 nanoscience & nanotechnology 01 natural sciences Signal profilometry optical feedback interferometry [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics 010309 optics Interferometry Optics Laser sensor 0103 physical sciences [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic Profilometer 0210 nano-technology business Raster scan Laser beams |
| Zdroj: | IEEE Sensors 2017 IEEE Sensors 2017, Oct 2017, Glasgow, United Kingdom. 3p |
| Popis: | International audience; This paper evaluates optical feedback interferome-try for raster scan profilometry applications. It is shown both experimentally and theoretically that the spot size on target plays a major role as the phase distribution of the scattering contributions impacts drastically the sensor signal. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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