Impact of Ferroelectric Layer Thickness on Reliability of Back‐End‐of‐Line‐Compatible Hafnium Zirconium Oxide Films

Autor: Ayse Sünbül, David Lehninger, Raik Hoffmann, Ricardo Olivo, Aditya Prabhu, Fred Schöne, Kati Kühnel, Moritz Döllgast, Nora Haufe, Lisa Roy, Thomas Kämpfe, Konrad Seidel, Lukas M. Eng
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Adv. Eng. Mater.2022, 2201124
ISSN: 1527-2648
1438-1656
DOI: 10.1002/adem.202201124
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: