Modeling of a PZT5A MEMS resonator disc partially metallized: Annular metallization
| Autor: | T. Gryba, L. Elmaimouni, Y. Belkassmi, F. E. Ratolojanahary, M. Rguiti, I. Naciri, A. Rguiti, Salah-ddine Krit, J.E. Lefebvre |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 (IEMN-DOAE), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN (MAMINA - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Laboratoire des Matériaux Céramiques et Procédés Associés - EA 2443 (LMCPA), Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: |
[SPI.ACOU]Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph]
Materials science Admittance Mathematical analysis Equations of motion Displacement (vector) [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials symbols.namesake Resonator [SPI]Engineering Sciences [physics] Maxwell's equations symbols Cylindrical coordinate system Boundary value problem [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics Legendre polynomials |
| Zdroj: | 2017 International Conference on Engineering & MIS (ICEMIS) 2017 International Conference on Engineering & MIS (ICEMIS), May 2017, Monastir, Tunisia. pp.1-8, ⟨10.1109/ICEMIS.2017.8272972⟩ |
| DOI: | 10.1109/ICEMIS.2017.8272972⟩ |
| Popis: | International audience; An extension of the orthogonal polynomial approach in order to solve wave propagation in a MEMS resonator disc in the case of annular metallization is reported in the following paper. The disc is made from PZT5A and has been divided into two areas, the outer one with electrodes and the inner without electrodes. The formulation is based on expressing different displacement components by means of Legendre polynomials series and harmonic functions for solving the goverening equation of motion and Maxwell equations in the system of cylindrical coordinates. Alternating source and boundary conditions are directly incorporated into the governing equations. The electro-acoustic behavior of the MEMS resonator concern of presenting the resonant and anti-resonant frequencies, the electrical input admittance and the field of axial and radial mechanical displacement components. Obtained results are compared with those reported in the literature, good agreement was proved. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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