An Analysis of Nonlinear Thickness Vibration Frequencies of Multi-layered Film Bulk Acoustic Resonators

Autor: Yurun Chen, Yan Guo, Rongxing Wu, Ji Wang, Huimin Jing, Ji Lin, Yahui Tian, Haifeng Zhang
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2022
Předmět:
DOI: 10.13140/rg.2.2.31426.66242
Databáze: OpenAIRE