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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Erforschung neuer Diagnostikkonzepte f��r technische Niederdruckplasmaprozesse basierend auf der Multipolresonanzsonde, mit dem Ziel eine universell einsetzbare, minimalinvasive Messtechnik zu realisieren. Zun��chst werden neue temperaturstabile Designs der Multipolresonanzsonde mit sph��rischem sowie planarem Sondenkopf auf Basis keramischer Substrate untersucht und entwickelt. Im Anschluss erfolgt eine systematische Analyse der planaren Sonde, wobei mittels umfangreicher 3D-elektromagnetischer Simulationen ein Ansatz zur Extraktion relevanter Plasmaparameter, bspw. der Elektronendichte, aus deren Messgr����en abgeleitet wird. Zur Validierung erfolgen Vergleichsmessungen mit der sph��rischen Sonde. Final werden minimalinvasive Messkonzepte unter Verwendung der planaren Sonde untersucht, wobei diese sowohl im Rahmen plasmagest��tzter dielektrischer Beschichtungsprozesse als auch Oberfl��chenbehandlungen in PET-Flaschen eingesetzt wird. |
