Signalverarbeitung zur Inline-Prozessüberwachung für koaxial integrierte Messtechnik in der Lasermikrostrukturierung
| Autor: | Robert Schmitt, Philipp Bredol, Rouwen Kunze |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Publica |
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: |
low coherence interferometry (LCI)
inline feedback control 0209 industrial biotechnology Materials science adaptive Signalverarbeitung adaptive Prozessregelung 02 engineering and technology 010501 environmental sciences laser micro structuring 01 natural sciences Computer Science Applications Inline Prozessüberwachung 020901 industrial engineering & automation Control and Systems Engineering Kurzkohärente Interferometrie (LCI) Electrical and Electronic Engineering adaptive process regulation Lasermikrostrukturierung adaptive signal processing 0105 earth and related environmental sciences |
| Zdroj: | at-Automatisierungstechnik |
| ISSN: | 0178-2312 |
| DOI: | 10.1515/auto-2017-0011 |
| Popis: | Zusammenfassung Der Einsatz von Ultrakurzpuls(UKP)-Lasersystemen für die Mikrobearbeitung gewinnt in vielen Laserbearbeitungsanwendungen zunehmend an Bedeutung und ist eines der wichtigsten Werkzeuge für die Mikrofertigung. Obwohl Computer Aided Design(CAD)-Modelle alle geometriebezogenen Informationen über das Werkstück für die Steuerung enthalten, erzeugen die vorherigen Bearbeitungsschritte am Werkstück eine unbekannte Topographie des Bauteils im Mikrometerbereich. Um die oben genannten Abweichungen zu kompensieren und einen toleranzgerechten Fertigungsprozess zu ermöglichen, ist eine Messung der Mikrogeometrie des Werkstücks innerhalb der Werkzeugmaschine wichtig. Daher ist das Ziel dieser Arbeit eine Inline-Messsystemintegration eines sensorbasierten adaptiven Mikrobearbeitungssystems unter Verwendung eines UKP-Lasers, mit dem Ziel einer ausschussfreien Produktion. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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