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Die organische Molekularstrahl-Epitaxie (OMBE) ist ein Verfahren zum Aufwachsen organischer und halbleitender Stoffe im UHV. Der Artikel beschreibt eine modulare Anlage aus 3 UHV- Kammern, die speziell fur einzelne Verfahrensschritte ausgelegt sind. Die Anlage ist flexibel und erlaubt vielfaltige optische Untersuchungen der Proben ohne diese der Atmosphare auszusetzen. Eine wichtige Anwendung ist die Herstellung neuer LED-Bauteile basierend auf Fullerenen. Organic Molecular Beam Epitaxy (OMBE) is a technique for growing both organic and semiconductor materials in UHV. A modular OMBE system consisting of 3 UHV chambers dedicated to specific purposes, is described. The flexibility of this system allows a wide range of optical characterisations of samples without exposure to atmosphere. The investigations are oriented on fullerenes family to create new LED device. |