Autor:	Beermann, Nils
Jazyk:	němčina
Rok vydání:	2009
Předmět:	Faradaycup optische Schichten Ionenstromdichteverteilung Dünnschichttechnologie Ionenenergieverteilung ionengestützte Beschichtung IAD ddc:530 Dewey Decimal Classification::500 \| Naturwissenschaften::530 \| Physik Ionenquellen
Popis:	[no abstract]
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::8fc5f1db520733bdaf291a60456f8e4f https://www.repo.uni-hannover.de/handle/123456789/7223 Zobrazit plný text záznamu