Nanoscale multiply charged focused ion beam platform for surface modification, implantation, and analysis
| Autor: | Mathieu Lalande, Pierre Salou, Arnaud Houel, Thierry Been, Thierry Birou, Charles Bourin, Amine Cassimi, Arthur Keizer, Jean-Baptiste Mellier, Jean-Marc Ramillon, Anthony Sineau, Anne Delobbe, Stéphane Guillous |
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| Přispěvatelé: | Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique (CIMAP - UMR 6252), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Matériaux, Défauts et IRradiations (MADIR), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Orsay Physics |
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: |
[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci]
[PHYS.PHYS.PHYS-INS-DET]Physics [physics]/Physics [physics]/Instrumentation and Detectors [physics.ins-det] [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics Instrumentation |
| Zdroj: | Review of Scientific Instruments Review of Scientific Instruments, 2022, 93 (4), pp.043703. ⟨10.1063/5.0078914⟩ |
| ISSN: | 1089-7623 0034-6748 |
| Popis: | International audience; The PELIICAEN (Platform for the Study of Ion Implantation Controlled and Analyzed at the Nanometric Scale) setup is a unique device, both for all of its in situ ultra-high vacuum equipment (focused ion beams (FIB) column, Secondary Electron Microscope (SEM), Atomic Force and Scanning Tunnelling Microscope (AFM/STM)), and for its nanostructuration performances on material. The setup has been recently equipped with its own electron cyclotron resonance ion sources, a new position-controlled platform using pneumatic vibration insulators and a fast pulsing device. Its performances were then deeply improved, providing access to a large choice of ions, an adjustable ion implantation depth up to few hundreds of nanometres, an image resolution down to 25 nm and an ion beam size on sample down to 100 nm. With all these equipment, the PELIICAEN setup is in the international foreground to perform and analyse ion implantation and surface modification. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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