Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al–Si–N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode
Autor: | Konusov, Fedor V., Pavlov, S. K., Lauk, A. L., Tarbokov, V. A., Remnev, Gennady E., Gadirov, Ruslan M. |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of surface investigation: X-ray, synchrotron and neutron techniques. 2022. Vol. 16, № 5. P. 702-711 |
ISSN: | 1819-7094 1027-4510 |
DOI: | 10.1134/s1027451022050081 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |