Super-thin single crystal diamond membrane radiation detectors
Autor: | B. Caylar, Philippe Bergonzo, Michal Pomorski |
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Přispěvatelé: | Laboratoire Capteurs Diamant (LCD-LIST), Département Métrologie Instrumentation & Information (DM2I), Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay-Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies (LIST), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Paris-Saclay |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2013 |
Předmět: |
010302 applied physics
Materials science Physics and Astronomy (miscellaneous) Material properties of diamond Analytical chemistry Diamond 02 engineering and technology Chemical vapor deposition engineering.material [PHYS.NEXP]Physics [physics]/Nuclear Experiment [nucl-ex] 021001 nanoscience & nanotechnology 01 natural sciences 7. Clean energy Particle detector Semiconductor detector Sputtering Etching (microfabrication) 0103 physical sciences engineering [PHYS.PHYS.PHYS-INS-DET]Physics [physics]/Physics [physics]/Instrumentation and Detectors [physics.ins-det] [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics 0210 nano-technology Single crystal |
Zdroj: | Applied Physics Letters Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2013, 103, pp.112106. ⟨10.1063/1.4821035⟩ |
ISSN: | 0003-6951 |
DOI: | 10.1063/1.4821035⟩ |
Popis: | International audience; We propose to use the non-electronic grade (nitrogen content 5 ppb |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |