Comparison of compensation strategies of structural effects

Autor: Thoma, Stefan, Weikert, Sascha, Wegener, Konrad
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2012
Předmět:
Zdroj: Proceedings of the 12th international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology
DOI: 10.3929/ethz-a-007577786
Popis: Proceedings of the 12th international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology
ISBN:978-0-9566790-0-0
Databáze: OpenAIRE