The principle of a MEMS circular diaphragm mass sensor

Autor:	Ismail, A. K., Burdess, J. S., Harris, A. J., Mcneil, C. J., Hedley, J., Chang, S. C., Guillaume Suarez
Rok vydání:	2006
Zdroj:	Scopus-Elsevier
DOI:	10.1049/ic:20060447
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::658d5585a0c0bf669f451d8ae83b62f0 https://doi.org/10.1049/ic:20060447 Zobrazit plný text záznamu