EDA solutions to new-defect detection in advanced process technologies

Autor:	Marinissen, E. J., Vandling, G., Goel, S. K., Hapke, F., Rivers, J., Mittermaier, N., Bahl, S.
Rok vydání:	2012
Zdroj:	ResearcherID
DOI:	10.1109/date.2012.6176444
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::64d575725187ff17f618ad2928d0e4dc https://doi.org/10.1109/date.2012.6176444 Zobrazit plný text záznamu