Autor:	C.M. Rops, F. van der Graaf, J.F.M. Velthuis
Rok vydání:	2004
Zdroj:	Proceedings. 2004 International Conference on MEMS, NANO and Smart Systems, 2004. ICMENS 2004..
DOI:	10.1109/icmens.2004.1332338
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::5fd3bb1eeb85fc3ae2a3e3d23d88d8b4 https://doi.org/10.1109/icmens.2004.1332338 Zobrazit plný text záznamu