Chipping Energy Threshold in MEMS Sensors
Autor: | Leonardo Gaffuri Pagani, Luca Guerinoni, Luca Falorni, Patrick Fedeli, Paola Carulli, Giacomo Langfelder |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Microelectromechanical Systems. 31:415-423 |
ISSN: | 1941-0158 1057-7157 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |