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Im Rahmen dieser Arbeit wird ein neues Mess- und Sensorkonzept erarbeitet, bei dem keine elektrische Hilfsenergie zur Messung, Speicherung, Digitalisierung sowie für eine erste Datenvorverarbeitung erforderlich ist. Dazu werden die wichtigsten Funktionen der Messdatenerfassung anstatt in der elektrischen in der mechanischen Domäne umgesetzt, um ausgewählte Messdaten, wie die maximal aufgetretene Amplitude eines Signals, zu erfassen. Die zum Messen und Speichern erforderliche Energie wird hier unmittelbar aus dem zu erfassenden Messsignal gewonnen. Der am Mikrosystem gespeicherte Wert ist über beliebige Zeiträume verfügbar und kann nach Belieben passiv, z.B. über RFID ausgelesen und ggf. zurückgesetzt werden. Die Arbeit thematisiert hierbei verschiedene mikromechanische Bauelemente, die sich auf Bauteilebene adaptieren und auf Schaltungsebene miteinander in einem Netzwerk zu einer Sensorschaltung verschalten lassen. |
