STRATURI SUBȚIRI SEMICONDUCTOARE PREPARATE ÎN SISTEME DE PULVERIZARE CU MAGNETRON (DC): TEORIE vs EXPERIMENT (I)

Autor:	Igor NAROLSCHI, Alexandr CLIUCANOV, Corneliu ROTARU, Marin RUSU, Sergiu VATAVU
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2021
Předmět:	magnetron sputtering system current vs voltage dependence gas discharge sistem de pulverizare cu magnetron caracteristica curent-tensiune descărcare în gaz lcsh:HB71-74 lcsh:Economics as a science lcsh:Science (General) lcsh:Q1-390
Zdroj:	Studia Universitatis Moldaviae: Stiinte Exacte si Economice, Vol 0, Iss 7(137) (2021)
ISSN:	2345-1033 1857-2073
Popis:	Caracteristica curent-tensiune a sistemului de pulverizare cu magnetron (DC) depinde în formă pătratică de trei pa­­ra­metri, unul dintre care este egal cu potențialul de aprindere a descărcării gazului, pe când ceilalți doi parametri se de­ter­mină experimental din caracteristica curent-tensiune pentru valori mici sau mari ale tensiunii aplicate sistemului. SEMICONDUCTOR THIN FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERTING (DC): THEORY vs EXPERIMENT (I)The current-voltage dependencies of a DC magnetron system depend, as a square function, on three parameters, one of those being equal to the ignition potential in gas discharge, while the other two are being determined experimentally by use of experimental curves for low/high applied voltages.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4e2055cfdcb66f4a80e0be4f6166c692 http://ojs.studiamsu.eu/index.php/exact-economic/article/view/1867 Zobrazit plný text záznamu