Ni-Ti Akıllı Alaşım İnce Filmin Sıcaklığa Bağlı X-Ray Kırınımı ile Karakterizasyonu ve Faz Dönüşümü Tespiti
Autor: | Bahadır Doğan, M. Mete Ozturk |
---|---|
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | Volume: 6 1-11 Bilecik Şeyh Edebali Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi |
ISSN: | 2458-7575 |
DOI: | 10.35193/bseufbd.549878 |
Popis: | Thin film shape memory alloy whichis strongly relevant with the fabrication of the micro electro mechanicalsystems is one of the hot research topic in last decades. Among theinvestigated shape memory alloys, NiTi is stepping forward by the thermos-elasticfeatures it has. In order to understand their physical properties, severalcharacterization methods have been used by the researchers. In this study, aNiTi thin film that is deposited on a Si substrate is characterized by an X-RayDiffraction under gradually evolving testing temperatures. The examination isperformed between -125°C and125°C. Twostoichiometrically different samples (at room temperature, one of them ismartensite rich and the other is austenite rich) are tested and the phasetransformation temperatures are determined (martensite and austenite start andfinish temperatures) during the experiments. Furthermore, by using the directcomparison method, the martensite volume fraction is determined with regard totemperature. several characterization methods have been used by the researchers. In this study, a NiTi thin film that is deposited on a Si substrate is characterized byseveralcharacterization methods have been used by the researchers. In this study, aNiTi thin film that is deposited on a Si substrate is characterized by Günümüzün popüler konularından olan ince film akıllı alaşımlar, hergeçen yıl ihtiyaç ölçüsünde daha da küçülen mikro elektromekanik sistemlerdir.Bu alaşımlardan NiTi ince film, sahip olduğu termoelastik özellikler sayesindeyaygın olarak tercih edilmektedir. Depolanan bu filmlerin fizikselözelliklerinin anlaşılabilmesi için birçok karakterizasyon yöntemi mevcuttur.Bu çalışmada silikon altlık üzerine depolanmış Nikel-Titanyum ince filmin fazdönüşümü sıcaklığa bağlı X-Ray kırınımı ile incelenmiştir. İncelenen sıcaklık aralığı-125°C ile 125°C olarak alınmıştır. Stokiyometrik olarak birbirindenfarklı iki NiTi örneği (oda sıcaklığında biri austenit diğeri martensitoranları daha yüksek olan) incelenmiş ve her bir filmin faz dönüşümsıcaklıkları (austenit başlangıç ve bitiş, martensit başlangıç ve bitiş) tespitedilmiştir. Direkt karşılaştırma yöntemi kullanılarak işlem esnasındaki martensithacim oranı sıcaklığa bağlı olarak elde edilmiştir. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |