Micro-specific design flow for tool-based microtechnologies
| Autor: | Albers, A., Deigendesch, T., Marz, J. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2007 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Microsystem Technologies, 13 (3), 305-310 |
| ISSN: | 0946-7076 |
| DOI: | 10.5445/ir/1000006952 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Full text from SpringerLink