Preparation of orthorhombic Y-doped TaON film

Autor:	Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo
Rok vydání:	2022
Předmět:	Materials Chemistry Ceramics and Composites General Chemistry Condensed Matter Physics
Zdroj:	Journal of the Ceramic Society of Japan. 130:432-435
ISSN:	1348-6535 1882-0743
DOI:	10.2109/jcersj2.22002
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::41d6bae10b4304358947d3ff1823a9ba https://doi.org/10.2109/jcersj2.22002 Zobrazit plný text záznamu