Multifunctional Top-Coats Strategy for DSA of High-χ Block Copolymers
| Autor: | Xavier Chevalier, Cindy Gomes Correia, Gwenaelle Pound-Lana, Philippe Bézard, Matthieu Sérégé, Camille Petit-Etienne, Guillaume Gay, Gilles Cunge, Benjamin Cabannes-Boué, Célia Nicolet, Christophe Navarro, Ian Cayrefourcq, Marcus Müller, Georges Hadziioannou, Ilias Iliopoulos, Guillaume Fleury, Marc Zelsmann |
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| Přispěvatelé: | Arkema (Arkema), Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO), Université de Bordeaux (UB)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Georg-August-University = Georg-August-Universität Göttingen, Laboratoire Procédés et Ingénierie en Mécanique et Matériaux (PIMM), Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM), HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université - Communauté d'universités et d'établissements Hautes écoles Sorbonne Arts et métiers université (HESAM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Ecole Nationale Supérieure de Chimie, de Biologie et de Physique (ENSCBP)-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC), University of Göttingen - Georg-August-Universität Göttingen, Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] (CNAM)-Arts et Métiers Sciences et Technologies, HESAM Université (HESAM)-HESAM Université (HESAM) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: |
Materials science
Lithography Polymers and Plastics Dewetting 010401 analytical chemistry Organic Chemistry Nanopatterning Top-coat patterning Self-assembly 010402 general chemistry 01 natural sciences Block copolymers 0104 chemical sciences [CHIM.POLY]Chemical Sciences/Polymers Chemical engineering Materials Chemistry Copolymer Cross-linkable top-coats [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics |
| Zdroj: | Journal of Photopolymer Science and Technology Journal of Photopolymer Science and Technology, 2021, 34 (1), pp.11-16. ⟨10.2494/photopolymer.34.11⟩ Journal of Photopolymer Science and Technology, Technical Assoc of Photopolymers Japan, 2021, 34 (1), pp.11-16. ⟨10.2494/photopolymer.34.11⟩ |
| ISSN: | 0914-9244 1349-6336 |
| DOI: | 10.2494/photopolymer.34.11⟩ |
| Popis: | International audience; A concept of patternable top-coats dedicated to directed self-assembly of high-χ block copolymers is detailed, where the design enables a crosslinking reaction triggered by thermal or photo-activation. Nanostructured BCP areas with controlled domains orientation are selected through a straightforward top-coat lithography step with unique integration pathways. Additionally, the crosslinked nature of the material enables the suppression of the BCP dewetting, while exhibiting exceptional capabilities for the construction of 3D stacks. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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