Electron energy distribution function and plasma parameters across magnetic filters

Autor: V. Godyak, Ane Aanesland, Jérôme Bredin, Pascal Chabert
Přispěvatelé: Laboratoire de Physique des Plasmas (LPP), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Observatoire de Paris, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-École polytechnique (X)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Plasmas Froids, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-École polytechnique (X)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Observatoire de Paris, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-École polytechnique (X)-Sorbonne Université (SU)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-École polytechnique (X)-Sorbonne Université (SU)-Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Observatoire de Paris
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2012
Předmět:
Zdroj: Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, 2012, 100, pp.044102. ⟨10.1063/1.3680088⟩
DOE Plasma Science Center Annual Meeting
DOE Plasma Science Center Annual Meeting, May 2012, Princeton, New Jersey, United States
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2012, 100, pp.044102. ⟨10.1063/1.3680088⟩
ISSN: 0003-6951
DOI: 10.1063/1.3680088⟩
Popis: International audience; The electron energy distribution function (EEDF) is measured across a magnetic filter in inductively coupled plasmas. The measured EEDFs are found to be Maxwellian in the elastic energy range with the corresponding electron temperature monotonously decreasing along the positive gradient of the magnetic field. At the maximum of the magnetic field, the electron temperature reaches its minimum and remains nearly constant in the area of the negative gradient of the field, where the plasma density distribution exhibits a local minimum.
Databáze: OpenAIRE