Scanning probe techniques for dopant profile characterization
| Autor: | Stangoni, Maria Virginia |
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| Přispěvatelé: | Fichtner, Wolfgang |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2005 |
| Předmět: |
NUMERICAL SIMULATION AND MATHEMATICAL MODELING
DOTIERUNG (HALBLEITERTECHNOLOGIE) PROPERTIES OF THIN LAYERS (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS) Physics EIGENSCHAFTEN DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN) NUMERISCHE SIMULATION UND MATHEMATISCHE MODELLRECHNUNG MIKROSTRUKTUR VON MOLEKULARSYSTEMEN (PHYSIK) MICROSTRUCTURE OF MOLECULAR SYSTEMS (PHYSICS) RASTERTUNNELMIKROSKOPE RTM + RASTERTUNNELMIKROSKOPIE SCANNING TUNNELING MICROSCOPES STM + SCANNING TUNNELING MICROSCOPY ddc:530 DOPING (SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY) |
| DOI: | 10.3929/ethz-a-005061495 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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