Electrical Behavior of Vertical Pt/Au Schottky Diodes on GaN Homoepitaxy

Autor: Maroun Dagher, Camille Sonneville, Georges Brémond, Dominique Planson, Eric Frayssinet, Yvon Cordier, Helge Haas, Mohammed Reda Iretki, Julien Buckley, Vishwajeet Maurya, Matthew Charles, Jean-Marie Bluet
Přispěvatelé: Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Ampère, Département Energie Electrique (EE), Ampère (AMPERE), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Recherche pour l’Agriculture, l’Alimentation et l’Environnement (INRAE)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Recherche pour l’Agriculture, l’Alimentation et l’Environnement (INRAE), INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures (INL - MFN), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL), Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA), Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS), COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), GaNeX Labex
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: physica status solidi (a)
physica status solidi (a), 2023, ⟨10.1002/pssa.202200841⟩
ISSN: 0031-8965
1862-6319
Popis: International audience; Schottky barrier diodes on GaN on GaN substrates are fabricated for the purposeof material and technology characterization. The epitaxial layers are grown byMOCVD. I–V measurements as a function of the temperature in the range80–480 K show ideality factor (n) and barrier height (ϕB) variations not following athermionic (TE) model. Consequently, barrier height fluctuations are considered.In the temperature range 280–480 K, an average barrier height of 1.31 eV with arelatively large standard deviation (σ) of 0.15 eV is extracted using this model. Then(T ) variation is also analyzed in order to extract the field sensibility of 1) themean barrier height variation (ρ2 = -0.1) and 2) the barrier height standarddeviation (ρ3 = -15mV). The corrected Richardson plot usingϕB and σ values islinear and gives a Richardson constant of 31.5 A cm² K² close to the theoreticalvalue of 26.4 A cm² K². For a deeper understanding of ϕB fluctuation origins,micro-Raman mapping of the epitaxial layers and deep-level transient spectroscopy(DLTS) are used. μ-RS mappings show compressive strain for diodeshaving suffered electrical breakdown. DLTS analysis shows the presence of ninelevels whose signatures are extracted and nature discussed.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: