Experimental comparison of programming mechanisms in 1T-DRAM cells with variable channel length

Autor: Alexandre Hubert, Maryline Bawedin, Sorin Cristoloveanu, Olivier Faynot, Thomas Ernst, Georges Guegan
Přispěvatelé: Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC), Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2010
Předmět:
Zdroj: Proc. in ESSDERC 2010, (F. Gamiz, A. Godoy eds.), IEEE, ISBN
40th European Solid-State Device Research Conference
40th European Solid-State Device Research Conference, Sep 2010, Sevilla, Spain
Popis: The bulk DRAM scaling requirements have lead to many different concepts of capacitor-less single-transistor (1T) DRAM. Amongst the various effects used to program the cell, this study is focused on the Impact Ionization (II), the most common mechanism to store charges in the body of the cell, and the Meta-Stable Dip (MSD) effect. Dynamic measurements are presented showing the impact of the gate length reduction on both the II and the MSD programming mechanisms. It is found that MSD is less impacted by the scaling of standard SOI MOSFETs without specific optimization. Those attractive performances result from the dynamic coupling between the front and back gates in Fully Depleted SOI (FDSOI) transistors.
Databáze: OpenAIRE