Technological process effects on SAW sensors devices characteristics and FEM estimation
| Autor: | Adrian Laborde, Martine Sebeloue, Véronique Conédéra, Ollivier Tamarin, Laurent Linguet, Maxence Rube, Corinne Dejous, Dominique Rebière, Hamida Hallil, Jean-Luc Lachaud |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1, Université de Guyane (UG), UMR 228 Espace-Dev, Espace pour le développement, Université de Guyane (UG)-Université des Antilles (UA)-Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université de Perpignan Via Domitia (UPVD)-Avignon Université (AU)-Université de La Réunion (UR)-Université de Montpellier (UM), CNRS International NTU THALES Research Alliance (UMI CINTRA), THALES-Nanyang Technological University [Singapour]-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, IRD, IMS Bordeaux, LAAS-CNRS, FEDER Guyane, CNES, CTG., Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (UB)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut de Recherche pour le Développement (IRD)-Université de Perpignan Via Domitia (UPVD)-Avignon Université (AU)-Université de La Réunion (UR)-Université de Montpellier (UM)-Université de Guyane (UG)-Université des Antilles (UA), CNRS International - NTU - Thales Research Alliance (CINTRA), THALES [France]-Nanyang Technological University [Singapour]-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: |
FEM
Computer science Work (physics) Surface acoustic wave Process (computing) Mechanical engineering MEMS process 02 engineering and technology Acoustic wave 021001 nanoscience & nanotechnology 01 natural sciences Finite element method Comsol Multiphysics 0103 physical sciences Dispersion (optics) [PHYS.PHYS.PHYS-INS-DET]Physics [physics]/Physics [physics]/Instrumentation and Detectors [physics.ins-det] [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics 0210 nano-technology Dispersion (water waves) 010301 acoustics SAW biosensor |
| Zdroj: | 2019 IEEE SENSORS 2019 IEEE SENSORS, Oct 2019, Montreal, Canada. pp.1-4/C2P-J-5, ⟨10.1109/SENSORS43011.2019.8956567⟩ |
| DOI: | 10.1109/SENSORS43011.2019.8956567⟩ |
| Popis: | International audience; This work focuses on the different technological characteristics and physical phenomena that can produce a dispersion of performance on surface acoustic wave (SAW) sensors. Using of a sophisticated statistical approach for the study of the devices variability requires a large amount of data and can be difficult to produce or compare. Modeling may improve the understanding of the physical and technological effects, thus it can help to estimate and reduce the dispersion produced by refining the design and / or the manufacturing process. A list of design parameters assumed to be at the origin of the variations of the SAW performance is proposed. In this work, measurements of approximately one thousand samples were grouped according to their characteristics and compared by using a Finite Element Model (FEM) analysis. The obtained results support the interest of the model and of the method developed to predict the influence of geometric and physical parameters on the acoustic wave devices behaviour, paving the way for a more exhaustive stochastic approach. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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