Heteroepitaxial growth of Lithium Niobate Thin Films on sapphire substrates with different orientations by Pulsed-Laser Deposition

Autor: Ihor Pershukov, Florian Dupont, Elisa Soulat, Jérôme Richy, Emma Borel, Marie Bousquet, Bertrand Vilquin
Přispěvatelé: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures (INL - MFN), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL), IEEE
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: 2022 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF 2022)
2022 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF 2022), IEEE, Jun 2022, Tours, France. ⟨10.1109/ISAF51494.2022.9870044⟩
HAL
DOI: 10.1109/isaf51494.2022.9870044
Popis: International audience; In this study, epitaxial LiNbO3 thin films were successfully grown on a- and c-Al2O3 substrates by Pulsed Laser Deposition (PLD). In order to control the film crystallinity and chemical composition, the influence of different growth parameters, such as substrate temperature, oxygen pressure, and target composition, were studied. The physical and chemical properties of the as-deposited LiNbO3 layers were characterized.
Databáze: OpenAIRE
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