Preparation of a New Electro-optic Polymer Cross-Linkable via Copper-Free Thermal Huisgen Cyclo-Addition and Fabrication of Optical Waveguides by Reactive Ion Etching
| Autor: | Dominique Bosc, Errol Blart, Clément Cabanetos, Yann Pellegrin, Vincent Rodriguez, Laurent Fontaine, Frédéric Adamietz, Véronique Montembault, Fabrice Odobel, Hind Mahé |
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| Přispěvatelé: | Chimie Et Interdisciplinarité : Synthèse, Analyse, Modélisation (CEISAM), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC), Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON (FOTON), Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (ENSSAT)-Télécom Bretagne, Unité de chimie organique moléculaire et macromoléculaire (UCO2M), Le Mans Université (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC), Institut des Sciences Moléculaires (ISM), Université Montesquieu - Bordeaux 4-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-École Nationale Supérieure de Chimie et de Physique de Bordeaux (ENSCPB)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ANR-07-TCOM-0010,MODPOL,MODulateurs à base de POLymères électro-optiques(2007), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (ENSSAT)-Télécom Bretagne-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Le Mans Université (UM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Montesquieu - Bordeaux 4-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (UB)-École Nationale Supérieure de Chimie et de Physique de Bordeaux (ENSCPB)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Nantes - Faculté des Sciences et des Techniques, Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut des Molécules et Matériaux du Mans (IMMM), Le Mans Université (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Montesquieu - Bordeaux 4-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-École Nationale Supérieure de Chimie et de Physique de Bordeaux (ENSCPB)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2011 |
| Předmět: |
Fabrication
Materials science Trimethylsilyl polymer 02 engineering and technology Huisgen reaction 010402 general chemistry Engraving 01 natural sciences law.invention chemistry.chemical_compound law Etching Polymer chemistry General Materials Science electro-optic Reactive-ion etching chemistry.chemical_classification Polymer 021001 nanoscience & nanotechnology 0104 chemical sciences [CHIM.POLY]Chemical Sciences/Polymers chemistry visual_art nonlinear optic visual_art.visual_art_medium [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic Azide Photolithography 0210 nano-technology optical waveguide cross-linking |
| Zdroj: | ACS Applied Materials & Interfaces ACS Applied Materials & Interfaces, Washington, D.C. : American Chemical Society, 2011, 3 (6), pp.2092-8. ⟨10.1021/am2003153⟩ ACS Applied Materials & Interfaces, 2011, 3 (6), pp.2092-8. ⟨10.1021/am2003153⟩ |
| ISSN: | 1944-8244 1944-8252 |
| DOI: | 10.1021/am2003153⟩ |
| Popis: | International audience; High-quality trails of ridge waveguides were successfully fabricated using a new cross-linkable polymer (PCC01) by UV photolithography followed by Reactive-Ion Etching (RIE) process. The cross-linking reaction of PCC01 is based on the copper-free Huisgen cyclo-addition between an azide and an acetylene group. The new cross-linkable polymer (PCC01) consists of a structural modification of the previously described materials (Scarpaci et al. Polym. Chem.2011, 2, 157), because the ethynyl group is functionalized by a methyl group instead of the TMS protecting group. This feature prevents the formation of silica (SiO(2)) generated by trimethylsilyl groups and which was stopping the engraving process before completion. Herein, we describe the synthesis, the NLO characterizations, and the fabrication of a high-quality ridge waveguide with PCC01. The new cross-linkable polymer PCC01 not only solves the problems encountered with our previously described polymers, but also presents an enhancement of the electro-optic stability, because d(33) coefficients up to 30 pm/V stable at 150 °C were recorded. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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