Entwicklung von piezoelektrischen Positionierelementen und deren Validierung mit einem Transmissions-Elektronenmikroskop
| Autor: | Baumann, Daniel G. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Müller, Martin, Meier, Markus |
| Jazyk: | němčina |
| Rok vydání: | 2000 |
| Předmět: |
Electric engineering
ddc:621.3 Physics STELLANTRIEBE + STELLEINRICHTUNGEN (AUTOMATISCHE REGELUNG) PIEZOELEKTRIZITÄT (ELEKTROSTATIK) TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPES TEM + TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY PIEZOELECTRICITY (ELECTROSTATICS) DURCHSTRAHLUNGSELEKTRONENMIKROSKOPE + DURCHSTRAHLUNGSELEKTRONENMIKROSKOPIE SERVO-DRIVES + ACTUATORS (AUTOMATIC CONTROL) ddc:530 Engineering & allied operations ddc:620 |
| Zdroj: | Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 1, Konstruktionstechnik/Maschinenelemente, 323 |
| DOI: | 10.3929/ethz-a-003867558 |
| Popis: | Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 1, Konstruktionstechnik/Maschinenelemente, 323 ISBN:3-18-332301-X |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|