Electrostatic chuck as application of B/C/N ceramics

Autor:	Kiyotoshi Fujii
Rok vydání:	2007
Předmět:	Materials science Chemical engineering visual_art visual_art.visual_art_medium General Materials Science Ceramic General Chemistry
Zdroj:	Carbon. 45:1375
ISSN:	0008-6223
DOI:	10.1016/j.carbon.2007.02.012
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::0c77b959fa0ebbff43b1a2bd1fb9c8bd https://doi.org/10.1016/j.carbon.2007.02.012 Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect