Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)
Autor: | Achenbach, Sven, Pantenburg, F.J., Mohr, Jürgen |
---|---|
Jazyk: | němčina |
Rok vydání: | 2000 |
Předmět: | |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |