Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)

Autor: Achenbach, Sven, Pantenburg, F.J., Mohr, Jürgen
Jazyk: němčina
Rok vydání: 2000
Předmět:
Databáze: OpenAIRE