Autor:	Georg Pawlowski, Przybilla Klaus Juergen, Horst Röschert
Rok vydání:	1992
Předmět:	chemistry.chemical_compound Hexafluoroacetone Materials science chemistry Resist Mechanics of Materials Mechanical Engineering Functional group Organic chemistry General Materials Science Photochemistry Lithography Ultraviolet radiation
Zdroj:	Advanced Materials. 4:239-242
ISSN:	0935-9648
DOI:	10.1002/adma.19920040318
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fff0ed449b2f4a38f95b69a3e5dabb2d https://doi.org/10.1002/adma.19920040318 Zobrazit plný text záznamu Plný text