Lower Limit of Pressure Measurement of Spinning Rotor Gauge

Autor:	Tomoaki Hino, Toshiro Yamashina, Yuko Hirohata, Eisuke Ueda
Rok vydání:	1993
Předmět:	Electrical and Electronic Engineering Condensed Matter Physics Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	SHINKU. 36:414-419
ISSN:	1880-9413 0559-8516
DOI:	10.3131/jvsj.36.414
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ff33adcb1309820281cdbaa02fcc75d6 https://doi.org/10.3131/jvsj.36.414 Zobrazit plný text záznamu