Tunable sensitivity of zirconium oxynitride thin-film temperature sensor modulated by film thickness
Autor: | Yanjie Li, Minmin You, Xiuyan Li, Bin Yang, Zude Lin, Jingquan Liu |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 33:20940-20952 |
ISSN: | 1573-482X 0957-4522 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |