POLY HARMONIC MONITORING OF THIN FILM THICKNESS
Autor: | A.J. Sakhabutdinov, T.R. Sakhbiev, Ilnur I. Nureev, Oleg G. Morozov, D.I. Kasimova |
---|---|
Rok vydání: | 2017 |
Předmět: | |
Zdroj: | Scientific and Technical Volga region Bulletin. 7:53-55 |
ISSN: | 2079-5920 |
DOI: | 10.24153/2079-5920-2017-7-2-53-55 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |