Model for Estimating Time-Varying Properties of an Inductively Coupled Plasma
| Autor: | Robin Georg, Ashley R. Chadwick, Bassam B. Dally, Georg Herdrich |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | IEEE Transactions on Plasma Science. 50:1227-1236 |
| ISSN: | 1939-9375 0093-3813 |
| DOI: | 10.1109/tps.2022.3166162 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|