A Dual-Beam Differential Method Based on Feedback Interferometry for Noncontact Measurement of Linear and Angular Displacement
| Autor: | Xin Xu, Zongren Dai, Yidong Tan |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | IEEE Transactions on Industrial Electronics. 70:6405-6413 |
| ISSN: | 1557-9948 0278-0046 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|