Coupled Thin Film Hydrogenated Amorphous Silicon Microresonator Arrays

Autor:	Tiago G. Pestana, Rui M. R. Pinto, Rosana A. Dias, Virginia Chu, Joao Pedro Conde
Rok vydání:	2023
Předmět:	Mechanical Engineering Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	Journal of Microelectromechanical Systems. 32:37-46
ISSN:	1941-0158 1057-7157
DOI:	10.1109/jmems.2022.3214658
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fd4f36b0f25aeba7518d9fe0b28b3865 https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3214658 Zobrazit plný text záznamu