High Performance NMOS Devices Using Ultra-Thin VHP Oxynitride

Autor:	B. Evans, Husam N. Alshareef, Dim-Lee Kwong, A. Karamcheti, Howard R. Huff, M.D. Jackson, George A. Brown, V.H.C. Watt, T. Y. Luo
Rok vydání:	2000
Předmět:	Materials science business.industry Optoelectronics business NMOS logic
Zdroj:	Extended Abstracts of the 2000 International Conference on Solid State Devices and Materials.
DOI:	10.7567/ssdm.2000.a-5-2
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::fc78388d7480b1e97387a55f82d81219 https://doi.org/10.7567/ssdm.2000.a-5-2 Zobrazit plný text záznamu