Controlling Silicon Surface Roughness During Photochemical Cleaning
Autor: | Brent D. Schwab, Martin L. Green, T.W. Sorsch, Jeffery W. Butterbaugh |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
Předmět: | |
Zdroj: | Solid State Phenomena. :169-172 |
ISSN: | 1662-9779 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |