Effect of Sacrificial Mg2Si Layers and Kinetic Parameters on the Growth, Structure, and Optical Properties of Thin Ca2Si Films on Silicon Substrates
Autor: | N. G. Galkin, K. N. Galkin, I. M. Chernev, O. V. Kropachev, D. L. Goroshko, S. A. Dotsenko, E. Yu. Subbotin, D. B. Migas |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Semiconductors. 56:367-381 |
ISSN: | 1090-6479 1063-7826 |
DOI: | 10.1134/s1063782622090019 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |