Effect of Sacrificial Mg2Si Layers and Kinetic Parameters on the Growth, Structure, and Optical Properties of Thin Ca2Si Films on Silicon Substrates

Autor: N. G. Galkin, K. N. Galkin, I. M. Chernev, O. V. Kropachev, D. L. Goroshko, S. A. Dotsenko, E. Yu. Subbotin, D. B. Migas
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Semiconductors. 56:367-381
ISSN: 1090-6479
1063-7826
DOI: 10.1134/s1063782622090019
Databáze: OpenAIRE
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje