Influence of Casting Solvents on the Properties of Positive Photoresists
Autor: | Akira Yokota, Shingo Asaumi, Toshimasa Nakayama, Hidekatsu Kohara |
---|---|
Rok vydání: | 1996 |
Předmět: | |
Zdroj: | KOBUNSHI RONBUNSHU. 53:264-267 |
ISSN: | 1881-5685 0386-2186 |
DOI: | 10.1295/koron.53.264 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
načítá se...